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成都超純應用材料有限責任公司（UPAM)成立于2005年，位于中國成都雙流航空港開發區，研發及廠房超過一萬平方米，是一家以技術為先導的半導體刻蝕器件，高功率激光器件和特種陶瓷的國家高新技術制造企業。成都超純具有自主知識產權，開發了多類高技術，包括先進表面處理技術，可為半導體刻蝕器件和MOCVD器件提供專業的表面處理服務；UPMS 先進提純技術，可將材料的純度提純到5N以上；UPHP 先進陶瓷生產技術， 制造高密度碳化物和氮化物陶瓷； 同時公司針對不同基底材料開發了一整套超光滑表面處理技術UPUS 來控制表面疵病，提高器件的使用壽命。
在研發實驗的過程中，前期準備、后期清洗和實驗結果的準確需要超純水來支持，于是成都超純應用材料有限責任公司聯系到我司四川zhuo越水處理設備有限公司（新公司四川卓水越醫療科技有限公司），咨詢超純水設備相關問題。
中國電子級超純水水質標準
表 1 電子級水的技術指標GB/T11446. 1— 2013
項 目 | 技術指標 | ||||
EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | ||
電阻率(25℃)/MΩ · cm | ≥18 (5%時間不低于 17) | ≥15 (5%時間不低于 13) | ≥12. 0 | ≥0. 5 | |
全硅/(μg/L) | ≤2 | ≤10 | ≤50 | ≤1000 | |
微粒數/ (個/L) | 0. 05μm~0. 1 μm | 500 | — | — | — |
0. 1 μm~0. 2 μm | 300 | — | — | — | |
0. 2 μm~0. 3 μm | 50 | — | — | — | |
0. 3 μm~0. 5 μm | 20 | — | — | — | |
> 0. 5 μm | 4 | — | — | — | |
細菌個數/(個/mL) | ≤0. 01 | ≤0. 1 | ≤10 | ≤100 | |
銅/(μg/L) | ≤0. 2 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
鋅/(μg/L) | ≤0. 2 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
鎳/(μg/L) | ≤0. 1 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
鈉/(μg/L) | ≤0. 5 | ≤2 | ≤5 | ≤1000 | |
鉀/(μg/L) | ≤0. 5 | ≤2 | ≤5 | ≤500 | |
鐵/(μg/L) | ≤0. 1 | — | — | — | |
鉛/(μg/L) | ≤0. 1 | — | — | — | |
氟/(μg/L) | ≤1 | — | — | — | |
氯/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤10 | ≤1000 | |
亞硝酸根/(μg/L) | ≤1 | — | — | — | |
溴/(μg/L) | ≤1 | — | — | — | |
硝酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
磷酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
硫酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
總有機碳/(μg/L) | ≤20 | ≤100 | ≤200 | ≤1000 | |
四川卓水越EDI超純水設備介紹
一、四川卓水越EDI超純水設備特點
1、不需要酸堿再生,電除鹽的操作是安全的，廢水的處理變得簡單了。
2、可連續生產,電除鹽的生產是連續的，免除了使用混床過程中復雜的再生操作，減少了很多備用設備。
3、不需要處理廢酸堿,沒有廢酸堿的中和排放處理系統。電除鹽的濃水可以直接排放或返回到RO的進口。
4、安裝條件簡單,電除鹽在安裝時，占地面積小，廠房都能滿足，對于較低的廠房，可通過對電除鹽模塊的水平配置解決。
5、系統設計簡單,電除鹽的模塊設計很容易把它的流量做到450噸/小時甚至更高。
6、運行成本低,電除鹽系統與各種混床相比，在價格上有競爭性。
7、實用的設計,對于電除鹽系統，不管是維修還是增減設備的容量都是很容易的。必須要更換膜堆時，在現場只要花極少的停機時間就可以完成。
8、安裝維修簡便,電除鹽裝置允許通過對其他膜堆的流量重新分配而達到對某一個膜堆維修的要求，不改變系統的性能。
9、水質穩定,電除鹽的出水質量穩定有把握。不會有普通混床那樣的水質變化。
10、標準設計：利用標準單元，如同搭積木般的組合 可以滿足用戶不同產水量的需要。
二、EDI超純水設備工藝流程
加藥系統
↓
預處理系統→反滲透系統→脫氣系統→EDI系統→供水系統
三、EDI超純水設備工藝說明
※ 預處理系統由原水箱、原水泵、機械過濾器、活性碳過濾器、軟化器、保安過濾器或原水箱、原 水泵、機械過濾器、保安過濾器、超濾組成；
※ 反滲透系統由高壓泵、反滲透膜組件及膜殼組成，分為一級和二級；
※ 脫氣系統由脫氣膜、自吸泵組成；
※ ED系統由中間水箱、淡水泵、EDI膜塊、直流電源組成；
※ 加藥系統由ST絮凝劑或阻垢劑、PH調節劑組成；
※供水系統由純水箱、供水泵組成。
EDI是一種將電滲析和離子交換相互結合在一起的除鹽新工藝，該工藝過程取電滲析和離子交換兩者之長，彌補對方之短，即利用離子交換能深度脫鹽來克服電滲析極化而脫鹽不*，又利用電滲析極化而發生水電離產生H+和OH-離子實現樹脂自再生來克服樹脂失效后通過化學藥劑再生的缺陷，因而EDI技術是一種好的除鹽工藝。
四、EDI 超純水設備進水要求:
項 目 | 技 術 要 求 |
給 水 | RO產水, 電導率≤20μs/cm ( 建議<10μs/cm ) |
PH值 | 6.0 ~ 9.0 ( 建議7.0 ~ 9.0 ) |
水 溫 | 5 ~ 35℃ |
硬 度(以CaCO3計) | < 0.5 ppm |
有機物 | < 0.5 ppm ，TOC建議值為零 |
氧化物 | ≤0.05 ppm (Cl2) , 0.02ppm (O3),兩者為零* |
Fe 、Mn | ≤0.0１ ppm |
二氧化硅 | < 0.5 ppm |
二氧化碳 | < 5 ppm |
油和油脂 | 檢不出 |
油和油脂 檢不出
超純水系統設備主要應用領域為
醫藥、電子電力、石油化工冶煉、食品等行業
EDI技術特點：
★可連續生產，產水電阻率高≥ 15 MΩ.cm
★產水率可以高達95%
★產水水質穩定。不需要配酸堿再生
★無污水產生。
★ 系統控制自動化程度高，操作簡單，勞動強度低。
